*一、项目基本情况

项目编号：GZH2502364（SNZX-20251105）

项目名称：南京大学自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备

预算金额：237.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：237.000000 万元（人民币）

采购需求：

本次采购1套自研低维薄膜材料等离子体增强原子层刻蚀设备，设备内含低损伤刻蚀模式和电感耦合等离子体刻蚀模式，用于半导体或其它材料表面刻蚀处理。在原子层刻蚀模式时，能够对氮化镓，氮化硅，氧化铪等材料实现低损伤刻蚀；在电感耦合等离子模式时，能够对硅基和氮化镓等化合物半导体材料实现高精度刻蚀，具体详见招标文件。

本项目采购标的所属行业为：工业。

合同履行期限：合同签订后6个月内。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

本项目采用以下第（4）种方式落实政府采购促进中小企业发展的要求：

（1）本项目整体专门面向中小企业采购货物。

（2）本项目整体专门面向小微企业采购货物。

（3）本项目通过以下第（）种方式预留部分采购份额采购中小企业货物：

①本项目要求投标人以联合体形式参加，中小企业合同金额应当达到的比例为/%。

②本项目要求投标人进行合同分包，中小企业合同金额应当达到的比例为/%。

（4）本项目为非预留份额的采购项目或采购包，执行价格扣除优惠政策，具体详见第三章。

3.本项目的特定资格要求：无。

三、**

本公告详情仅供VIP会员或SVIP会员查阅，您当前权限无法查看完整内容，请先 登录 或 注册 ，办理会员入网事宜后按照后续流程参与投标！

联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com