*一、项目基本情况

项目编号：SEU-ZB-251078

项目名称：东南大学集成电路学院半导体参数分析仪采购

预算金额：49.000000 万元（人民币）

最高限价（如有）：49.000000 万元（人民币）

采购需求：

集成电路学院采购半导体参数分析仪1套，主要技术要求如下：

半导体参数分析仪系统是集成电路实验室最常见的仪器，为开发各类材料、半导体器件和先进工艺，完成支撑控制、可靠性分析和故障分析，需要购置半导体参数仪进行相关电学特性参数表征测试。半导体参数仪由SMU（I-V源测量单元）、CVU（多频率电容单元）及PMU（超快脉冲测量单元）等模块构成。

（1）半导体参数测量模块

 半导体参数分析仪主机，最多可支持 SMU 单元数量≥6 个

 SMU的电流测量分辨率≤100fA，最大电流≥100mA

（2）探针测量模块

 卡盘X/Y方向运动行程≥4英寸*4英寸

 卡盘X/Y方向运动精度≤10μm，且每个轴都带有自锁阻尼

合同履行期限：合同签订后45天内设备安装调试合格。

本项目( 不接受  )联合体投标。

二、申请人的资格要求：

1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

无

3.本项目的特定资格要求：无

三、**

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联系人：张晟

手 机：13621182864

邮 箱：zhangsheng@zgdlyzc.com